> ちゅうさん、皆さん、おはよぅ。(^_^)/
>
> > 「シリコン基板(金属シリコン)に穴をあけれないか?」とのこと。
> > フライスで加工することが可能でしょうか?
> > 可能でしたら使用工具・加工条件などを教えてください。
> > また、他の機械での加工法もありましたら教えていただきたいと思います。
>
> 参考までに、、。
> http://www.mmjp.or.jp/kumakura/sub3.html
そー言えば、シリコンのレンズを研磨しているところがありますね。
ガラスの研磨と要領は同じようですので超音波も有効でしょう。
ホームセンターにガラス用ドリルって売ってませんか?
参考にならないかな?