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自社の得意な技術や、他社にはまねできない特異な技術を紹介するコーナーです。
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半導体製造装置向け超精密バルブの加工事例です。 弊社はステンレスを用いた半導体製造装置の部品加工が得意です。 中でも、ステンレスの超精密バルブは検査まで実施することが出来ます。 当社で製造している、半導体製造装置向け高精度ステンレス加工部品の外観検査について紹介します。 ・製品紹介 材質：SUS316L 製品サイズ：約30mm×30mm×35m ・外観検査内容 主に部品や製品の表面に付着した異物や汚れ、傷、バリ、欠け、変形などの外観上の欠陥を確認し、良否判定を行っています。 この高精度ステンレス加工部品の外観検査には、下記のような高い品質が求められており、... |
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今回は顕微鏡を使った半導体製造装置向け高精度ステンレス加工部品の外観検査についてご紹介します。 主な検査内容として、まず目視で外周や穴の切粉溶着や汚れ、バリの確認をしています。次に顕微鏡を使用し、目視では確認の難しい穴の中の切粉やバリ、重要箇所のダコンやキズ、欠けなどを検査し、良否判定を行っています。 弊社ではコンタミ防止策として、加工機械と隣接している検査ブースの上にフィルターがついており、上から下に風が流れ、浮遊物を含む空気を外部に押し流したりなどして異物が混入しないようにしています。 前述部品の検査員は、お客様の認定＋社内認定制度に合格した者だけが検査をしています。また、多い製... |
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