測定機械
●こんな課題はありませんか
☑ 薬液・純水の流量を安定して測定したい
☑ 流体に接触する可動部の摩耗や劣化を防ぎたい
☑ 微小流量でも高精度に監視したい
☑ 圧力損失を抑え、安定した流体供給をしたい
☑ 半導体製造装置に適した信頼性の高い流量計を探している
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超音波カルマン渦式流量計 USL-20Lなら解決!
可動部レス×超音波検出で、長期安定した流量監視へ
●特長
・超音波でカルマン渦を高精度に検出
・可動部のないシンプル構造
・薬液・純水ラインに対応
・低圧力損失で安定した流体制御
・ コンパクト設計で装置組込みに最適
●用途・導入事例
・半導体・FPD製造装置の流量管理に
・薬液供給装置
・薬液の供給量監視・流量管理
・純水供給ライン
・洗浄工程における純水流量監視
・薬液循環設備
・安定した循環流量の確認
・研究開発・評価装置
・実験設備や試験装置への組込み
| 会社名 |
株式会社 リガルジョイント (りがるじょいんと) |
エミダス会員番号 | 89576 |
|---|---|---|---|
| 国 | 日本 | 住所 |
日本 神奈川県 相模原市南区 |
| 電話番号 | ログインをすると表示されます | FAX番号 | ログインをすると表示されます |
| 資本金 | 5,760 万円 | 年間売上高 | |
| 社員数 | 62人 | 担当者 | 広報企画 |
| 産業分類 | 工作機械 / 測定機械 / 電子部品 | ||
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株式会社 リガルジョイント
