測定機械
●こんな課題はありませんか
☑純水ラインの流量を簡単に確認・管理したい
☑ 装置内の冷却水や循環水の流量を安定して監視したい
☑ 薬液ラインに対応した流量管理機器を探している
☑ 省スペースな装置組込み用の小型流量計を探している
☑ 流量異常を早期に把握し、装置の安定稼働につなげたい
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FS薬液対応なら解決!
薬液ラインの「見える化」と安定稼働をサポート
●特長
・薬液に対応した流量監視
・耐薬品性に優れたFS仕様
・半導体製造装置への組込みに適したコンパクト設計
・シンプル構造による高い信頼性
・装置コスト低減に貢献
●用途・導入事例
半導体・FPD製造装置の薬液ライン管理に
薬液供給装置の流量監視
薬液供給ラインの流量確認・管理に活用
薬液循環ラインの流量監視
純水供給ラインの流量管理
洗浄工程などの純水流量確認に活用
冷却水ラインの流量監視
装置の安定稼働に必要な冷却水管理に対応
研究開発設備・評価装置への組込み
| 会社名 |
株式会社 リガルジョイント (りがるじょいんと) |
エミダス会員番号 | 89576 |
|---|---|---|---|
| 国 | 日本 | 住所 |
日本 神奈川県 相模原市南区 |
| 電話番号 | ログインをすると表示されます | FAX番号 | ログインをすると表示されます |
| 資本金 | 5,760 万円 | 年間売上高 | |
| 社員数 | 62人 | 担当者 | 広報企画 |
| 産業分類 | 工作機械 / 測定機械 / 電子部品 | ||
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株式会社 リガルジョイント
