■はじめに｜大型ステージへのPEEK成形品貼り付けに伴う膨大な工数とコストに課題
液晶パネルやウエハ等の微細な反り・歪みを測定するレーザー変位検査装置では、載置する金属ステージ表面によるワークへのキズ防止が必須です。従来はアルミニウム等の基材表面にPEEK樹脂の成形品を貼り付けて保護していましたが、1〜2mにおよぶ大型ステージへの施工では以下の大きな課題を抱えていました。

・手作業による複雑な組み付け・調整工程
高精度な位置決め、固定用の穴あけ・ネジ留め作業に加え、ミクロン単位の平面度・平行度を出すための微調整など、膨大な工数が発生。

・製造コストの増大とリードタイムの長期化
高価なPEEK成形品の材料費と加工費に加え、組み立てに必要な人件費・作業時間が嵩み、装置全体の製造コスト圧迫と納期の長期化を引き起こしていました。


■課題解決へのアプローチ：1mm超の「厚膜PEEK塗装 ＋ 精密切削」によるダイレクト被膜形成
当社では、成形品を貼り合わせる従来手法から「金属基材へ直接PEEK被膜を形成する」技術への切り替えをご提案いたしました。

・大型部材（1〜2m）に対応する焼き付け・施工設備
1m〜2mクラスの大型精密ステージ部品を一括処理できる大型焼成炉を完備。

・「1mm以上の厚膜塗装 ＋ 後切削加工」による仕上げ
規定値を超える1mm以上のPEEK樹脂膜を形成後、表面を機械加工（精密切削）で均一に仕上げることで、成形品同等以上の平面度・寸法精度を達成。

・熱歪みを制御する専用治具の開発
約400℃に及ぶ焼成時の熱膨張差による大型基材の反り・歪みを防ぐため、当社独自の「変形防止用固定治具」を設計・活用。


■導入効果：工数の完全自動化・省略により、トータルコスト30%以上削減を達成
実機検証を経て導入された結果、性能を犠牲にすることなく製造プロセスの大幅な合理化を実現しました。

・組み立て・調整工数の全廃とリードタイム短縮
位置決め、穴あけ、ネジ留め、水平出し作業が不要となり、部品の製作期間を劇的に短縮。

・製造トータルコストを30%以上カット
成形品の材料費・加工費および多大な組み立て人件費を削減し、大幅なコストダウンに成功。

・継ぎ目のないフラットな表面による品質向上
一体削り出し仕上げによりネジ穴や継ぎ目が排除され、検査対象物へのキズ発生リスクをさらに低減。


■ 製品・技術に関するお問い合わせ
当社では、半導体・液晶製造装置向けの搬送ハンド、CMP関連部品、洗浄用チャンバーなど、多様な大型・精密部品への機能性コーティング実績を多数有しております。試作施工や費用・工数見積もりなど、お気軽にご相談ください。

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日建塗装工業株式会社
〒116-0002　東京都荒川区荒川7-18-2
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