技術検索
自社の得意な技術や、他社にはまねできない特異な技術を紹介するコーナーです。
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XYθ+Zアライメントステージ
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XYθステージに「Z軸」をビルトイン!
ワークの高精度位置決めはもとより、
・ワーク間のギャップ装置
・カメラのフォーカス調整
などに威力を発揮します。
◇◇特長◇◇
●薄型
ダブルスライド機構による「薄型アライメントステージ」に「高精度Z軸機構」をビルトイン。
●高精度
パラレル構造のため、精度が平均化され高精度な位置決めが可能です。
★仕様詳細は、下記URLからご確認頂けます。★
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ヒーハイスト 株式会社 (日本 埼玉県)
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薬液搬送用ポンプのエキセンシャフト (偏芯軸)
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【部品名】 エキセンシャフト (偏芯軸)
【用途】 薬液搬送用ポンプ
【業界】 液晶製造装置
【50余年のシャフト加工の実績】
真円度・円筒度・同軸度・表明粗さ(シール部の渡り含む)・寸法精度等々、多くの無理難題を解決してきた50余年の実績があります。こんなのつくれるのかと疑問に思ったら一度お問い合わせしてみてください。1個の試作開発品から1万個を超える量産品まで対応しています。
設計ミスや手配ミス等の不慮のトラブルを解決する超短納期製作・特急案件も得意としております。
http://www.akiyama-ss.co.jp/gijyutu/entou.ht...
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株式会社JST (日本 埼玉県)
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XYθアライメントステージ NAF3Cシリーズ
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NAF3シリーズは、UVWの3軸アクチュエータと予圧型ダブルスライド・ユニットにて構成。薄型コンパクト・高剛性・高精度な位置決めが行えます。
電動アクチュエータを同一平面上に配置した超薄型アライメントステージであり、装置全体の低重心が実現可能な高精度な位置決めステージです。
スライド部分には中間プレートを上下2枚のプレートで挟み込む「予圧型ダブルスライド」構造を採用。
各プレートの間に多数のボールが配置され、スムーズな平面転がり運動、高負荷を受けられる構造となっております。
◇◇特長◇◇
★超薄型シンプル構造と高剛性の両立
3つのアクチュエータを同一平面上に配置することに...
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ヒーハイスト 株式会社 (日本 埼玉県)
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Zチルトステージ
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定盤やアライメントステージなどの水平レベルを調整する小型電動Z軸アクチュエータです。
調整する定盤などの下面をこのアクチュエータを3個で支持し、各々別々に上下動作させることにより高さの微小調整や水平レベルの調整をすることができます。
本アクチュエータは定盤の傾きを調整したときの3点の中心間距離の変化を吸収することのできる独自のフレキシブルジョイント機構を有しています。
◇◇特長◇◇
★小型・高剛製
クサビ形機構を採用することにより小型ながら高剛性を実現。
★多機能アクチュエータ
高さの微小調整や水平レベルの調整をすることが出来る多機能電動アクチュエータであり、3点の中心...
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ヒーハイスト 株式会社 (日本 埼玉県)
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角度調整機構付き Zステージ
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隙間ゼロの球面軸受『SRJ』、減速比に有利なクサビ機構ステージの採用により高精度な位置決めを実現
角度調整機構付き Z軸ステージは、定盤やアライメントステージなどの水平レベル調整を行うステージです。
[特 長]
■小型・高剛性
クサビ形機構により小型ながら高剛性
■多機能
3点間の中心間距離の変化を吸収できる独自のフレキシブルなジョイント機構を搭載
■高精度
高さの微小調整や水平レベルの調整、傾斜機構を利用した焦点深度の浅い顕微鏡装置の光学台や傾斜制御治具としても利用可能
※ 弊社製球面軸受(SRJ)とリニアガイドの組合せにより、荷重に合わせた設計が可能。
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ヒーハイスト 株式会社 (日本 埼玉県)
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☆新製品☆ 超精密一軸ステージ HWシリーズ
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超精密ステージの特長は、クサビ機構を水平軸に応用することで、高応答・高精度・高横剛性を実現したステージです。
従来型のUVWステージに加えて、単軸ステージもラインアップ。
送り機構に「ボールネジ+クサビ式減速機構」を搭載。また、直動ガイドに「クロスローラガイド」を搭載することで高追従・高精度・高剛性を実現した超精密なステージです。
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ヒーハイスト 株式会社 (日本 埼玉県)
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ナノレベル3軸ステージ HWシリーズ
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高追従性、高剛性、高位置決め精度を備えたナノレベル 3軸ステージを
ご紹介します。
この製品は、50nm送りの追従性を実現しており、高度な位置制御が
必要なタスクに最適です。
高剛性は、独自の1/4クサビ構造によるもので、従来品(NAF3Cシリーズ)と比べて1.5〜2倍の剛性を実現しています。
横荷重にも耐え、安定した動作を実現します。
さらに、クサビ式減速機構の採用により、高い位置決め精度を実現しています。クサビ機構は、ボールねじのよろめきを減少させるため、より正確な位置制御が可能です。また、クロスローラガイドの採用により、摺動抵抗を抑え、直進性に優れています。
超...
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ヒーハイスト 株式会社 (日本 埼玉県)
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