マスフローコントローラー
マスフローコントローラーは、流体の質量流量を計測することにより流量制御を行うので、環境温度や使用圧力等の変化による補正を行う必要がなく、高精度で安定した流体計測・制御が可能な機器です。
【特徴】
● 表示設定器の一体化により、本体のみで設定制御が可能
● 駆動電源は、+24 VDC単電源(500 mA以上のACアダプター利用可能)
● 表示設定器一体化に加えて小型・省スペース化を実現したコンパクトサイズ
● デジタル通信:RS 485通信機能を標準搭載
● アナログ入出力信号:0 - 5 Vと4 - 20 mAを任意に切替可能
● 積算及び流量異常上下限アラーム機能を搭載
● デジタル制御アプリケーションソフト