半導体製造装置に使用される部品には、微細で高精度な加工が求められます。中でも、細径かつ長尺の深穴加工は、加工設備と技術の両面に高度な対応力が必要です。本記事では、φ1.5mmの細径深穴を深さ180mmで1日200本以上量産した事例をもとに、ハイタックの対応力と技術的な強みを紹介します。

【φ1.5mm × 180mm 深穴加工の概要】
この加工事例では、φ1.5mmという非常に細い穴を、約180mmの深さで加工しました。L/D比は120倍を超え、一般的なガンドリル加工の範囲を大きく超えた内容となります。

・加工対象部品：半導体製造装置向けの金属パーツ
・加工内容：φ1.5mm × 深さ181.5mmの貫通穴
・加工方法：ガンドリルマシンによる高精度深穴加工
・本数：200本以上を1日で量産

細径・長尺という条件は、振れ、芯ズレ、切りくず詰まりなど様々な課題を引き起こしますが、独自設計のガンドリルマシンと熟練の段取り技術により安定した量産を実現しています。

【実測値による精度実績】
今回の加工では、下記のような高い精度を全数で実現しています。

・内径測定値：1.48～1.50mmの範囲で安定
・深さ寸法：指示通り（181.5mm）で全数合格
・不良数：0本（全数良品）
・芯ズレ、曲がりなし

測定記録からもわかる通り、全200本に対して一切の不良が発生しておらず、精度・安定性ともに高い水準を維持しています。

【安定した細径深穴加工を実現する要素】
この高精度加工を支えているのは、設備構造、工具選定、段取り技術、測定体制といった複数の要素です。

〈高精度を支える主な技術〉
・専用設計のガンドリルマシンを使用
・中空ビルトインモータによる安定した主軸回転
・相対回転方式で工具とワークの回転を制御
・1000種類を超えるドリル工具の中から最適な組み合わせを選定

これらの組み合わせにより、微細穴であっても安定して狙い通りの穴径・深さを確保できます。

【半導体関連用途への応用】
ハイタックでは、半導体製造装置に使用される部品への加工として、細径・長尺・高精度を求められる深穴加工に数多く対応してきました。特に、高硬度材料や金属素材への安定した貫通加工で実績を持ち、測定精度や歩留まり率の面でも高評価を得ています。

〈実績の一例〉
・φ1.5mm × 181.5mmの貫通穴
・日産200本以上の量産体制
・内径変動1.48～1.50mmで安定加工

素材はSUSやアルミなどを中心に、要求仕様に応じた条件設定で安定した量産が可能です。

【高精度加工をご希望の方へ】
φ0.5mmからの極小径穴、L/D比100以上の長尺深穴、そして1日200本以上の量産体制まで。ハイタックはガンドリルマシンの自社開発・運用を通じて、他社では難しい精度と安定性を提供しています。

半導体製造装置部品など、微細かつ難削材の深穴加工でお困りの際は、ぜひ一度加工図面や仕様とともにご相談ください。最適な加工方法と設備構成をご提案いたします。

【お問い合わせ先】
株式会社ハイタック
静岡県沼津市西熊堂716-41
TEL：055-939-5444
FAX：055-939-5445
URL：https://www.hi-tak.co.jp/