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ICパッケージ内AuバンプのEBSD解析を行ないました。
EBSD解析は、結晶構造や方位、相の情報を指定した領域で、
どのように分布しているのかを捉えることができます。
今回は、代表的な3つのマップデータを提示致しました。
IPFマップでは結晶ごとの方位をカラーで表現できます。
右側にある逆極点図を基準にして、色によって結晶ごとの
向きがわかり、金属間化合物も明瞭に確認できます。
IQマップは、結晶性の良否を色の濃淡で表示できますが、
画像で示したようにワイヤー先端のボール部が溶融している様子や
熱影響がある箇所が結晶粒の大きさで判別できます。
バンプ上部(ワイヤー部)では粒界の線がはっきりと確認でき、
結晶性の良好な状態を示しております。
また、KAMマップでは、歪の入り具合を確認できます。
結晶粒の傾角約5度以内(5度以上は破断する)をカラー表示し、
ブルーからグリーン、イエローと傾角の大きさが確認できます。
研磨や切断などで作製した断面は、技術レベルによっては
加工による応力が発生し、本来の状態を解析することができません。
当社では、軟質材料や展延性のあるAuなどは、通常の機械研磨
ではなく、イオンミリングCP加工で前処理を実施することを
推奨しております。
サイズ的にもAUバンプのような50μm程度の大きさでも
対応可能です。
CP加工では、数10μm単位をArイオンビームで削除しますので
加工変質層のない断面作製が可能になり、本来のサンプルの状態を
解析することができます。
会社名 |
春川鉄工 株式会社 (はるかわてっこう) |
エミダス会員番号 | 75258 |
---|---|---|---|
国 | 日本 | 住所 |
日本 千葉県 木更津市 |
電話番号 | 0438-23-6611 | FAX番号 | 0438-23-6693 |
資本金 | 2,400 万円 | 年間売上高 | 40,000 万円 |
社員数 | 45人 | 担当者 | 春川昌之 |
産業分類 | 重電関係 / 電子部品 / 輸送機器電装品 |
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