弊社子会社のエムアールエム株式会社は、半導体・液晶・LED製造装置向けのフッ素樹脂バルブおよびPFAチューブ加工品の開発・製造を行う専門メーカーです。

半導体デバイスの高性能化・微細化が進む中、製造工程で使用される薬液供給システムには、より高い純度管理と安定した流体制御が求められています。当社はこうした業界ニーズに応えるため、耐薬品性・低溶出性・低発塵性に優れたフッ素樹脂製品を提供し、半導体製造の品質向上と歩留まり改善に貢献しています。

当社の製品は、酸・アルカリなどの高腐食性薬液を扱う工程に対応し、接液部にはPFAやPTFEなどの高機能フッ素樹脂を採用。長年培った樹脂成形技術、精密加工技術、バルブ設計技術を融合し、高いシール性能と信頼性を実現しています。

また、エアオペレイトバルブ、マニュアルバルブ、トグルバルブ、リリーフバルブ、逆止弁、マニホールドバルブなど豊富なラインアップを展開。標準品だけでなく、お客様の装置仕様やプロセス条件に合わせたカスタム設計にも柔軟に対応しています。

半導体製造装置メーカー様、薬液供給装置メーカー様、研究開発設備メーカー様など、多くのお客様へ採用実績を有し、高品質な流体制御ソリューションを提供しています。

【エムアールエム株式会社の強み】

■ 半導体製造工程向けフッ素樹脂バルブの専門メーカー

■ 高純度薬液に対応するPFA・PTFE製品

■ 高耐食・低発塵・低溶出設計

■ 標準品から特殊仕様品まで柔軟に対応

■ PFAチューブ加工品・樹脂配管部品も一括対応

■ 品質マネジメントシステム ISO9001認証取得

半導体産業のさらなる進化を支えるパートナーとして、お客様の課題解決に貢献いたします。フッ素樹脂バルブや薬液配管部品に関するご相談は、お気軽にお問い合わせください。