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PEEKコーティング「PEEKCOAT」

■ 製品説明
半導体製造プロセスにおいてシリコンウエハを収納・保持・搬送するために使用される金属製ウエハキャリア（キャリヤ治具）に、PEEKコーティングやふっ素樹脂コーティングなどを施工したサンプルです。
ウエハが格納される繊細なスロット（溝）の内部や、複雑なフレーム形状の細部に至るまでコーティングを形成しています。


■ コーティングの目的
デリケートなウエハを扱う半導体製造ラインの搬送治具において、本コーティングを施す目的は「ウエハ接触時の傷つき・カケの防止（耐摩耗性の向上）」および「クリーン環境におけるコンタミ（パーティクル）発生の抑制」にあります。

①ウエハ（製品）の傷つき・チッピング防止と耐摩耗対策
金属基材面がシリコンウエハと直接擦れ合う「メタルタッチ」を排除します。PEEK樹脂やふっ素樹脂でキャリア表面を被覆することにより、ウエハ挿入・取り出し時の接触ストレスや摩擦を緩和。デリケートなウエハへの擦り傷や微小なカケ（チッピング）の発生を防止し、製品の歩留まり向上に寄与します。また、キャリア自体の摩耗も抑制します。

②優れた耐薬品性とアウトガス（不純物溶出）の抑制
PEEKおよびふっ素樹脂は、各種洗浄工程で使用される酸・アルカリ等の薬液に対して高い耐性を発揮します。また、熱を伴う環境下においても不純物（アウトガスや金属イオン）の溶出が極めて少なく、微細加工プロセスにおけるウエハへの汚染リスクを低減します。

③静電気対策（帯電防止グレードへの対応）
使用条件やご要望に応じて、帯電防止機能を付与したコーティング仕様を選択可能です。搬送時の摩擦帯電を抑制し、クリーンルーム内の微小なパーティクルが静電気によってキャリアやウエハに吸着するトラブル、および静電破壊（ESD）リスクを低減します。