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帯電防止コーティング「Pass-e Coat（パスイーコート）」

■ 製品説明
半導体前工程・後工程における自動搬送システム（EFEMや真空搬送ロボットなど）の先端に取り付けられる、金属製またはセラミック製のウエハ搬送ハンド（エンドエフェクタ、ブレード）に、独自の帯電防止機能を持つ機能性コーティングを施工した事例です。


■ コーティングの目的
精密なシリコンウエハを高速かつ安全に搬送するハンドにおいて、本コーティングを施す目的は「静電気の発生を抑える帯電防止特性の付与」および「接触時の衝撃・摩擦からウエハを保護する傷つき防止」にあります。

①静電気によるコンタミ（パーティクル）の付着防止
ふっ素樹脂等の優れた化学的特性をベースに、最適な導電性・抗静電性をブレード表面に付与しています。搬送摺動時の摩擦帯電を抑制し、電荷を速やかに逃がす（除電）ことで、クリーンルーム内の微小なコンタミ（パーティクル）が静電気によってハンドやウエハに引き寄せられ、付着・吸着するトラブルを徹底的に防止。デバイスの歩留まり向上に貢献します。

②ウエハ（製品）へのキズ付き・カケの防止
金属や硬質セラミックの基材面がウエハと直接擦れ合う「メタルタッチ」を排除します。コーティング被膜がクッション性と適度な滑り性を併せ持つため、高速搬送時の滑り込みやピック＆プレース時の衝撃をやわらげ、デリケートなウエハ裏面やエッジへのキズ付き、微小なチッピング（カケ）の発生を防止します。

③静電破壊リスクの低減と安定搬送
帯電を防止することで、静電気放電（ESD）による回路パターンの静電破壊リスクを低減します。また、静電気によるウエハのハンドへの張り付き現象（離型不良）も解消され、狙い通りのタクトタイムでの安定した位置決めと搬送が可能になります。