☆解決ストーリーに新シリーズがSTART☆
【三昌工業の“ものづくり改善ノート”】
第一弾
『微振動は“見えない不良要因”だった』
～半導体装置の歩留まりを救った、防振ゴムの改善メモ～

【課題】
装置は正常なのに、測定結果にわずかなズレが発生していた現場からのﾉｰﾄ

「半導体製造ラインにて、検査装置の数値は正常にもかかわらず、
測定結果に“微妙なズレ”が発生し、不良率が上昇していた。
温度・圧力・装置設定に問題はなく、原因が特定できない状況。」

【原因】
～人が感じないレベルの“微振動”が測定精度を乱していた～

三昌工業が現場環境を調査したところ、以下の要因が複合して
装置に微振動が伝わっていることが判明。

1，装置脚部のわずかな揺れ
2，床材質の共振
3，周囲装置の動作
4，空調による微細な揺れ
5，作業者の歩行振動

半導体装置は 数ミクロンの揺れでも測定精度が落ちる ため、
この“見えない揺れ”が歩留まり低下の要因となっていた。

【解決策】
『装置専用に設計した CR＋特殊配合材のゴムダンパー』

三昌工業は装置の重量・振動周波数・床の共振特性を解析し、
専用設計の 防振ゴムダンパー を提案。

● ゴムダンパーの特長
1，微振動を吸収し、装置に伝えない
2，共振を抑え、測定環境を安定化
3，材質・硬度を調整し、装置固有の振動周波数に最適化

三昌工業は

「材質選定 × コンプレッション成形 × 品質管理」

の三位一体で、装置専用の防振ソリューションを構築。

【導入効果】
～測定値の安定化、不良率の低減、歩留まりの改善を確認～

ゴムダンパー導入後、現場では以下の改善が確認された。

1，微振動が吸収され、測定値のブレが消失
2，不良率が大幅に低下
3，歩留まりが安定
4，装置停止がほぼゼロに
5，製造ライン全体の安定性が向上

■ 【三昌工業が改善できた理由】
1， 材料選定の知見に特化

CR・NBR・特殊配合材を使い分け、
装置固有の振動周波数に合わせて最適化。

2， 成形技術のスペシャリストが多数在籍

防振材は寸法精度が性能に直結。
コンプレッション成形で高精度なダンパーを製造。

3，品質管理

硬度・密度・寸法・外観を徹底管理し、
振動吸収性能を安定させる。

【このノートが役立つ業界】
1，半導体製造装置
2，測定・検査装置
3，精密機器
4，医療分析装置
5，光学機器
6，研究設備
7，AIサーバーラック（振動対策）

【まとめ】
『微振動は“見えない不良要因”だった』

現場の状況の正確な把握と徹底した調査とヒアリングを根拠とした
三昌工業ならではの「ゴム材質と構造の最適化」により、
半導体装置は本来の測定精度を取り戻した。
製造ライン全体は安定性向上へ徹底的に改善された。

◎ 【出自（技術提案型事例）】
本記事は、三昌工業株式会社が保有する
防振ゴム・ゴムダンパー製造技術および材質選定技術をもとに構成した
技術提案型の“モノづくり改善ノート”です。
実際の顧客名・装置名は記載しておりません。

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三昌工業株式会社は
日々の製作事例・現場のトラブル対応・材質選定の知見をもとに、
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