| 機械種別 | 表面処理装置 |
|---|---|
| メーカー | Oerlikon Balzers (自社) |
| 型式 | INGENIA |
| テーブルサイズ | |
| 特徴 | HiPIMS/アーク 装置 |
| 台数 | 1台 |
| 導入年 |
エリコンジャパン 株式会社
最終更新日: 2024-08-21
主要設備
| 機械種別 | 表面処理装置 |
|---|---|
| メーカー | Oerlikon Balzers (自社) |
| 型式 | INGENIA |
| テーブルサイズ | |
| 特徴 | HiPIMS/アーク 装置 |
| 台数 | 1台 |
| 導入年 |
★・・・主要設備
表面処理装置| メーカー | 型式 | テーブルサイズ | 特徴 | 台数 | 導入年 | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| ★ | Oerlikon Balzers (自社) | INGENIA | HiPIMS/アーク 装置 | 1台 | ||
| Oerlikon Balzers (自社) | INNOVENTA kila | HiPIMS/アーク 装置 | 1台 | |||
| Oerlikon Balzers (自社) | INNOVENTA mega | アーク/スパッタ 装置 | 1台 | |||
| Oerlikon Balzers (自社) | INNOVENTA giga | アーク/スパッタ 装置 | 1台 | |||
| Oerlikon Balzers (自社) | RS90 | アーク/スパッタ/PACVD 装置 | 1台 |
