株式会社 テクノビジョン
最終更新日: 2023-08-02
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「UV照射、運用費 1/4」 （日本経済新聞 2012年8月9日）
半導体製造装置を開発するテクノビジョン（埼玉県川島町、高比良葦人社長）は、半導体製造の後工程に使う紫外線（UV）照射装置で、運用コストを従来の4分の1以下に抑えた製品を開発した。光源に発光ダイオード（LED）を採用することで、使用電力を抑えて寿命を延ばした。主に海外の半導体メーカー向けに、9月から本格的に販売する。
最終更新日:2013-05-14
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