走査電子顕微鏡（SEM）や透過電子顕微鏡（TEM）といった高精度観察機器では、サンプルを保持するステージ部品にも高い加工精度が求められます。今回は、無酸素銅（C1020）を使用したφ6×5mmサイズの小径部品について、バリや加工潰れを抑えた精密加工事例をご紹介いたします。

◇電子顕微鏡用サンプルステージ部品とは？
本製品は、電子顕微鏡の試料ステージに組み込まれる小型部品であり、観察精度や位置決め性能に直接影響を与える重要な構成要素です。使用されている無酸素銅（C1020）は、熱的・電気的特性に優れ、電子顕微鏡環境下でも安定した性能を発揮します。

◇製品詳細
・材質：無酸素銅（C1020）
・サイズ：φ6 × 5mm（小径部品）
・加工内容：旋盤加工、フライス加工、微細仕上げ、後処理対応
・対応ロット：単品試作から量産まで対応可能

◇特長
・C1020の導電性・熱伝導性を活かした部品設計
・極小サイズでもバリや潰れを最小限に抑えた高精度加工
・旋盤＋フライス加工による均一な形状・仕上がり
・後処理・エッジ処理による性能保持と外観向上

◇使用例
・SEM・TEM向けサンプルステージの構成部品
・高倍率観察を行う電子顕微鏡装置の支持部材
・ナノスケールの位置決め・操作に用いられる制御部品
・真空環境・静電制御が必要な分析装置の精密構造部品

◇加工方法
旋盤加工により基準となる外径・長さを高精度に仕上げた後、フライス加工で溝や面取りなどの細部加工を行います。C1020は軟質で変形しやすいため、加工中の押し潰れやバリ発生を防ぐ条件設定と工具選定を行っています。必要に応じて手仕上げやエッジ処理を加え、機能を損なわない最終仕上げを行います。

◇取組み
電子顕微鏡用部品の製作においては、初期の設計段階からご相談を受け、用途に応じた加工方法や寸法調整をご提案しています。お客様のニーズに応じて、試作対応から本格的な量産までスムーズに移行できる体制を整えております。

◇まとめ
電子顕微鏡装置で使用される部品は、サイズが小さくても加工精度が観察性能に直結する重要な要素です。