最終更新日: 2021-08-20
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産業用機械
ExLASER（エックス・レーザー）
◆特長◆ 超高速な昇温降温が可能 2インチ基板を1ショットで均一加熱 被加熱対象物のみへの直接加熱が可能 プロセスに合った温度制御も可能 雰囲気を加熱せず省エネを実現 ◆用途例◆ MBE装置の基板加熱 ウェハーのアニール（SiC、GaAS、etc.） 多層構造デバイスの表層アニールが可能（微細化デバイス対応）
日本 東京都 千代田区
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坂口電熱株式会社
