【横方向の高剛性化と高精度化を実現した新機構】

NAF4Cシリーズは、UVWJの4軸アクチュエータと予圧型ダブルスライド・ユニットにて構成。薄型コンパクト・高剛性・高精度な位置決めが行えます。
アライメントステージの大型化に伴いその傾向はますます顕著であり、この課題を追究し商品化した製品です。

ほとんどのメーカが採用している支持方式を進化させ、従来では成しえなかった高剛性と高精度を実現しています。

◇◇特長◇◇
★高剛性
4つのアクチュエータをテーブル中心から均等に配置し機械的・電気的にテーブルを保持します。従来の3軸方式に比べ横剛性の弱い方向が排除され、全ての方向で高剛性を保つことができます。

★高精度
X方向、Y方向共に2つのアクチュエータで駆動することが可能になりテーブルをより高精度に移動させることができます。これによってXY両方向で同一の位置決め精度を出すことが可能になりました。（従来の3軸方式ではX方向を1つのアクチュエータで駆動していた為、特にテーブルの大型化によりアクチュエータが中心から離れるほど、少なからず精度に影響を及ぼしていました。）

※お客様のご要望の仕様にもお打ち合わせの上対応しております。

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