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ナノレベル3軸ステージ HWシリーズ
業界
液晶・プラズマTV
電子部品
半導体
仕様
- 素材：組立品
- ロット：1個（単品）
- 精度：1/1000mm以下
説明
高追従性、高剛性、高位置決め精度を備えたナノレベル 3軸ステージを
ご紹介します。
この製品は、50nm送りの追従性を実現しており、高度な位置制御が
必要なタスクに最適です。
高剛性は、独自の１/４クサビ構造によるもので、従来品（NAF3Cシリーズ）と比べて1.5〜2倍の剛性を実現しています。
横荷重にも耐え、安定した動作を実現します。
さらに、クサビ式減速機構の採用により、高い位置決め精度を実現しています。クサビ機構は、ボールねじのよろめきを減少させるため、より正確な位置制御が可能です。また、クロスローラガイドの採用により、摺動抵抗を抑え、直進性に優れています。
超精密ステージは、半導体製造装置、各種検査装置、光学系アライメント装置、ナノメータポジショニング装置など、さまざまな分野で活躍しています。
最新の技術と高い品質を兼ね備えた超精密ステージ。
ぜひ、お客様のニーズに合わせてご検討ください。
製品仕様はこちら
https://www.hephaist.co.jp/products/system_hw.html
会社情報
| 会社名 |
ヒーハイスト 株式会社 (ひーはいすと) |
エミダス会員番号 | 81071 |
|---|---|---|---|
| 国 | 日本 | 住所 |
日本 埼玉県 川越市 |
| 電話番号 | 049-273-7000 | FAX番号 | 049-273-7001 |
| 資本金 | 71,700 万円 | 年間売上高 | 231,945 万円 |
| 社員数 | 100人 | 担当者 | 新井 湧介 |
| 産業分類 | 産業用機械 / 重電関係 / 工作機械 | ||
