Heリーク検査には様々な方式がありますが、【製品全体の漏れ量の定量化】と【漏れ箇所の特定】といった目的に応じて、実施する方式を選択していきます。
真空吹き付け法の後に、真空フード法を実施するなど、２つの試験を連続して実施するケースもございますので、検査方式を決めかねている場合、お気軽にご相談ください。

【製品全体の漏れ量の定量化を目的としたHe検査】
・真空フード法　
・加圧積分法

【漏れ箇所の特定を目的としたHe検査】
・真空吹き付け法　（スプレー法）
・スニファー法
※個々の方式の詳細に関しては、当社HPをご覧ください。（https://www.soga-iw.co.jp/heliumtest.html）

今回は、真空吹き付け法によるHeガス検出時の様子に関してご紹介いたします。
真空吹き付け法は、被検査物内部を真空状態にして、吹き付けプローブを用いて被検査物外部にHeガスを吹き付けて、内部に漏れ込んできたHeガスを検出する方法です。

Heガスの検出は、図の様にリーク量のチャートで確認する事が出来ます。
リークしている部位の付近でHeガスを吹き付けるとチャートが急上昇し、リークしている部位から遠い位置でHeガスを吹き付けると、少し時間が経った後にチャートが緩やかに上昇します。
このような反応の違いを考慮して、漏れ箇所の特定をしていきます。
※リークしている要因によっては反応が異なるケースもございます。

当社では様々な製品のHeリーク検査の実績がございますので、ご検討の際は、ぜひお気軽にご相談下さい。

株式会社ＳＯＧＡ
℡　0276-20-5180
https://soga-iw.co.jp/heliumtest.html