【各種リーク検査の方法】
リーク検査方法には様々な方法がありますが、当社では下記リーク検査の対応が可能です。
①Heリーク検査（スプレー法）　・・・ワーク内部を真空に排気し、ワークの外側にHeガスを吹き付け、ワーク内部に流入するHeガスを検出します。
②Heリーク検査（真空フード法）　・・・ワーク内部を真空に排気し、ワーク全体をHeガスで覆い、ワーク内部に流入するガスを検出します。
③Heリーク検査（スニファー法）　・・・ワーク内部にHeガスを入れ、ワーク外部に流出するHeガスをプローブで吸い込み、漏れを検出します。
④加圧発泡検査　・・・ ワーク内部を空気などで加圧して、外部に石鹸水などを塗布し、内部から出てくる気体を泡として検出します。
⑤加圧水没検査　・・・ ワーク内部を空気などで加圧して、水などの液体の中に浸せきし、ワークから出てくる泡でリークを検出します。

【メリット・デメリット】
加圧発泡・水没検査は、（ワーク内への加圧が低圧であれば）比較的容易に対応することが可能ですが、検査者の目視による良否判定となる為、検出精度にバラつきが生じるデメリットがあります。それに対して、Heリーク検査では定期校正された検査装置を用いてリークを検知しますので、常に一定の検査精度であり、見落としによる品質トラブルといったこともありません。又、Heリーク検査（真空フード法）では、ワーク全体のリーク量を定量化することが出来ます。高度な気密性が要求される製品においては、リーク量が重要視されますので必然的にHeリーク検査の採用が多くなります。

【各検査の検知可能なリーク量】
加圧発泡検査　・・・　10＾-1～10＾-4　Pa・㎥/sec
加圧水没検査　・・・　10＾-1～10＾-3　Pa・㎥/sec
Heリーク検査（スプレー法）　・・・　10-＾9～10-＾11Pa・㎥/sec　（JIS Z2330記載　参考値）
Heリーク検査（真空フード法）　・・・　10-＾10～10-＾12Pa・㎥/sec　（JIS Z2330記載　参考値）
Heリーク検査（スニファー法）　・・・　10＾-6～10＾-8Pa・㎥/sec　（JIS Z2330記載　参考値）

上記の様に、Heリーク検査と加圧発泡/加圧水没検査では検知可能なリーク量の値が大きく異なる為、加圧発泡/加圧水没検査では検出不可のリークもHe検査では検出可能です。

リーク検査に関してご検討中であれば是非お気軽にご相談ください。

株式会社ＳＯＧＡ ℡　027-620-5180
http://soga-iw.co.jp/