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丸形冷却付きチャンバー【真空チャンバー】
業界
半導体
仕様
- 素材：ステンレス
- ロット：1～100個
- 精度：±0.1mm程度
説明
チャンバーの周りに立体成型した細径パイプを巻き付け、溶接等で固定する構造です。細径パイプの内部には水等の冷却媒体が流れます。処理温度が高く、チャンバーの外側の温度が50度を超える場合に用いられるのが一般的です。むき出しではなくBOX等で覆われている場合は、50度程度では冷却は不要です。作業性は、BOX等で覆われていない方が格段に良好です。そのため、このような冷却を行うチャンバーが多いと思います。
パイプの巻き付けではなく、ジャケット形状や二重管方式のものもあります。温度がさらに高い場合には有効な手段ですが、高価になります。
会社情報
| 会社名 |
株式会社 第五電子工業 (だいごでんしこうぎょう) |
エミダス会員番号 | 75771 |
|---|---|---|---|
| 国 | 日本 | 住所 |
日本 神奈川県 相模原市緑区 |
| 電話番号 | 042-774-2345 | FAX番号 | 042-772-1575 |
| 資本金 | 1,000 万円 | 年間売上高 | 196,000 万円 |
| 社員数 | 115人 | 担当者 | 南 |
| 産業分類 | 測定機械 / 産業用機械 / 通信機器 | ||
| 主要取引先 |
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