【半導体製造装置向けアルミブロックの精密加工】

半導体製造装置に使用される制御用デバイスでは、内部の機構や電子部品を配置するため、さまざまな形状の金属部品が使用されます。なかでもアルミ製のブロックは、軽量性と加工性を活かしながら、装置内部の構造部品として高い寸法精度が求められる部品です。こうしたアルミ製ブロックの加工では、複数の面に穴やポケットなどを形成する必要がある場合、加工方法だけでなく、試作から量産までを見据えた生産体制が重要になります。当社では横形マシニングセンタによるアルミ精密加工に対応し、開発・試作から評価、量産立ち上げ、量産加工まで一貫して対応しています。半導体製造装置向け部品について、加工方法の検討から安定した量産まで相談できる体制を整えています。横形マシニングセンタを活用することで、複数面の加工や連続加工に対応しやすくなります。さらに、パレットチェンジャーによる段取り効率化、自動化運転、夜間運転などを活用することで、量産時の設備稼働率向上にもつなげています。

半導体製造装置向けのほかの部品はこちら
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【アルミ精密加工で求められる品質】

アルミニウムは非鉄金属の一つで、軽量性を活かして精密機器や装置部品などに使用されています。アルミ製ブロックを安定して加工するには、素材特性を考慮した加工条件の設定と工程ごとの品質管理が重要です。

特に半導体製造装置向け部品では、次のような項目が加工品質に関係します。

・複数面に対する加工精度
・穴やポケットなどの寸法精度
・加工面の仕上がり
・バリや切粉への対応
・工程間での寸法管理
・量産時の加工品質の安定

当社ではアルミニウムをはじめ、銅、真鍮などの非鉄金属加工に対応しています。素材ごとの切削条件や仕上がり品質を考慮しながら、高精度な削り出し部品の加工に取り組んでいます。

【試作から量産まで一貫対応】

半導体製造装置向け部品では、開発段階の試作と量産品で求められる加工体制が異なる場合があります。試作時に加工方法や品質上の課題を確認し、その結果を量産工程へつなげることが、量産立ち上げを円滑に進めるポイントになります。
当社では開発から試作、評価、量産立ち上げ、量産加工まで一貫して対応しています。

・開発試作
・少量生産
・量産立ち上げ
・急な増産対応
・変種変量生産
・量産品の安定供給
・工程改善
・加工条件の最適化

試作段階で加工方法や品質課題を確認し、そのまま量産へ移行しやすい体制を構築しています。試作と量産で加工先を分ける必要がないため、加工条件や品質に関する情報を引き継ぎやすく、量産立ち上げ時の調整にも対応しやすくなります。

「まずは試作品を加工したい」「試作後の量産まで相談したい」「量産開始後の安定供給まで任せたい」といった案件にも対応できる点が特徴です。

【多面加工による工程集約】

アルミブロックのような立体形状の部品では、一つの面だけで加工が完結しないケースがあります。複数方向から穴やポケットなどを加工する場合、工程ごとにワークを取り外して再びセットすると、段取り回数が増加します。段取り替えを繰り返すほど、位置決めに関する管理項目も増えるため、複数面を効率的に加工できる設備や工程設計が重要です。当社では、横形マシニングセンタに加えて、5軸マシニングセンタや多面複合加工機も活用しています。部品の形状や精度、生産数量などに応じて加工方法を検討し、工程集約による加工誤差の低減やリードタイム短縮につなげています。

一体加工（チャンバーの加工事例はこちら
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【量産立ち上げ後も安定供給に対応】

試作から量産へ移行した後は、必要な数量を継続して安定供給できる生産体制が重要になります。半導体製造装置関連では、生産数量の変動や仕様変更、急な増産などへの対応が必要になるケースもあります。当社は横形マシニングセンタを多数保有し、パレットチェンジャー、自動化運転、夜間運転などを活用した生産体制を構築しています。24時間稼働する体制も整えており、変種変量生産や量産立ち上げ、急な増産にも対応しています。

【三次元測定機を活用した品質管理】

加工後の寸法保証においても三次元測定機をはじめとする各種測定機器を備え、工程内検査や出荷前検査を実施しています。品質管理では、加工後の寸法測定だけでなく、工程内で品質を作り込む「造り込み品質」を重視しています。ISO9001、ISO14001の認証を取得し、トレーサビリティ管理にも取り組んでいます。さらに、真空脱脂洗浄、目視検査、仕上げ品質管理などにも対応しています。寸法だけでなく、加工後の外観や仕上げまで含めて品質を管理できることが、半導体製造装置向け部品の安定供給を支えます。

【このようなアルミ部品をご相談ください】
半導体製造装置向けのアルミブロックでは、部品形状、生産数量、必要精度などによって適した加工方法が変わります。横形マシニングセンタによる多面加工が適する部品もあれば、5軸加工や多面複合加工による工程集約が適する部品もあります。

株式会社サクラテックでは、次のような案件を相談頂けます。

・複数面に穴やポケットを持つ部品
・高精度な位置決めが必要な部品
・試作から量産へ移行する部品
・少量から量産まで対応が必要な部品
・量産立ち上げを含めて相談したい部品
・生産数量が変動する部品
・急な増産への対応が必要な部品

【半導体製造装置部品の加工を一貫してサポート】

当社は開発・試作から評価、量産立ち上げ、量産加工まで一貫して相談できるため、試作段階から量産を見据えた加工方法を検討できます。半導体製造装置向けのアルミブロックをはじめ、高精度な非鉄金属部品の加工先を検討している場合は、図面や仕様、生産数量などの情報をもとに、加工方法や生産体制について相談できます。

【お問い合わせ先】
半導体製造装置向けヒートシンクの切削加工や、アルミ・非鉄金属の精密加工、試作から量産までのご相談は、お気軽にお問い合わせください。複雑形状や高精度が求められる部品加工にも柔軟に対応いたします。

株式会社サクラテック
営業部　 渡邉喜雄
E-mail：yoshio@sacra-tech.co.jp

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