『真空チャンバー　1個からでも特急対応可能です。　半導体製造装置のアルミ精密部品』

本日は、半導体製造装置メーカー様に向けてご紹介致します。
加工の相談や製品に関するお問い合わせは
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【材質】A5052（アルミのa5052）

【業界・使用用途】
半導体製造装置業界
半導体製造装置のアルミ真空チャンバー

【材寸】
厚さ143mm×幅360mm×長さ390mm

【加工方法】マシニングセンタ

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この製品は、半導体製造装置の真空チャンバーになります。
真空チャンバーとは、内部を真空にする、装置の心臓部品になります。

まず、この製品は上面の平面度が非常に重要になります。

キズや平面度が少しでも出ていないと、
ここから空気が漏れてしまい、真空にすることができません。

そして、写真をみるとお分かり頂けると思いますが、
内面部分はピカピカでキズもなく、ビビりも発生していません。

この部分も非常に重要な部分で、
キズやビビりが発生していると、
その部分にゴミやホコリ、汚れがついてしまいます。

真空装置にとって、ホコリや汚れは当然いけませんので、
面粗度Ra.0.8という指示が入っております。

この製品のポイントは、内面の面粗さとビビりがないことです。

135mmという深堀加工をするので、
刃物の振れや、キリコの逃げが重要になります。

当社は深堀やチャンバーなどを得意としておりますので
ぜひご連絡ください。

アルミチャンバーでお困りごとはありませんか？
アルミ精密部品加工は、ぜひ中田製作所にお問合せ下さい！

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特に、自動車用開発部品、 液晶製造部品、産業用ロボット部品、
半導体製造装置部品はぜひお任せください。

また、ホームページにもアルミ精密加工技術やアルミ精密部品について
詳しくご説明していますので、ぜひご覧ください
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担当：まどりん　2021年3月16日（火） 　天気☁/☔