真空配管に使用するベローズには、微小な漏れすら許されない高い気密性と、繰り返し変位に耐える柔軟性が求められます。当社では、薄肉金属ベローズの設計から成形、溶接、仕上げ、検査までを一貫対応し、真空ラインに適した高気密ベローズを1個から製作しています。特に、真空用途で重要となるリーク対策として、全数に対してヘリウムリーク検査を実施しています。微細な漏れを確実に検出できるため、研究機関、半導体製造装置、分析装置など、極めて高い信頼性が求められる分野で採用されています。

材質はSUS316Lをはじめ、インコネル625、ハステロイC22、モネル、純ニッケル、チタンなど、真空環境で特性を発揮する特殊金属にも対応しています。板厚0.1～0.5mmの薄肉ベローズを単層・多層構造で製作でき、低バネ定数でスムーズな伸縮性を確保しながら、高い気密性と耐久性を両立しています。大口径から小径まで幅広いサイズでの対応が可能で、真空配管の仕様に応じた寸法指定、ストローク、バネ定数の最適化も行えます。

ロール成形による「型代不要」の製法により、特注でもコストを抑えやすく、小ロットや試作でもご相談が多く寄せられています。真空ラインの新規設計、既存配管の置き換え、材質変更、耐久性向上など、課題に応じた最適な仕様をご提案します。