竹中機械製作所では、半導体業界向けにSUS304材を使用した高精度部品の削り出し加工と電解研磨に対応しています。本事例は、SUS304TP-Sからの削り出しによるΦ160×185サイズの部品で、H7公差・同軸度0.02mm・▽▽▽の面粗さを求められた高精度内径部品です。電解研磨による表面仕上げにより、半導体関連装置に必要な清浄性・耐食性を両立しています。

【加工概要】
・業界：半導体、測定機器関連
・材質：SUS304TP-S（ステンレス鋼管相当材）
・サイズ：Φ160×185mm
・公差：H7公差、同軸度0.02mm
・仕上げ：内径部に電解研磨処理
・ロット対応：1～100個までの小～中ロット生産対応

【電解研磨による表面精度】
SUS304の内径部分には、電解研磨処理を施すことで滑らかで微粒子の付着を防ぐ面質を実現しています。電解研磨は、化学反応と電流制御により微細な凹凸を除去し、汚染源の少ないクリーンな仕上がりが求められる装置部品に適しています。

【加工のポイント】
・同軸度0.02mmへの対応には、芯出し精度の高い治具と三次元測定機を活用
・SUS304特有の加工硬化を避けるため、切削条件と工具管理を徹底
・内径表面は電解研磨によってRa0.2未満（▽▽▽）レベルの面粗さを実現
・図面指定による各種幾何公差を全数確認

【用途事例】
・半導体製造装置の真空配管部品・カバー・接合部材
・測定装置内部のシャフト支持用ブッシュ
・薬液耐性が求められる分析装置パーツ
・クリーンルーム内で使用される構成部品

【このようなご相談に対応します】
・SUS304などステンレス材の高精度削り出し部品を小ロットで製作したい
・同軸度やH7などの寸法・幾何公差管理が必要な加工品を依頼したい
・内径面粗さを重視した電解研磨処理を含めた一貫加工先を探している
・半導体装置・測定機器などへの導入にあたり、清浄性重視の部品を製作したい

竹中機械製作所では、設計図に基づいた精密加工に加え、機能性や使用環境に応じた仕上げ処理のご相談も承っております。半導体分野で要求される清浄性・耐腐食性・寸法精度を両立させた加工が可能です。

【お問い合わせ先】
株式会社竹中機械製作所
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