株式会社ヤマデンでは、半導体製造や工作機械分野に用いられるPEEK製吸着ノズルの精密加工を行っています。PEEK（ポリエーテルエーテルケトン）はスーパーエンジニアリングプラスチックの中でも耐熱性、耐薬品性、寸法安定性に優れ、機械的強度も高いため、耐久性と精度が求められる部品に最適な素材です。

今回ご紹介する製品は、半導体（IC）ワーク搬送用の吸着パッドです。寸法はφ12×45mm。吸着面と軸心の垂直度、吸着面の平面度が重要視されるため、加工後には三次元測定機による検査を実施し、合格品のみを出荷しています。さらに吸着面にはラップ仕上げを行い、ワークと直接接触する部分の平滑性を確保しました。

従来の吸着パッドは使用を重ねるごとに摩耗や劣化が生じ、頻繁な交換が必要でした。そこで樹脂化を検討し、耐久性と寸法安定性に優れるPEEKを選定。結果として長寿命化を実現し、装置稼働の安定性とメンテナンスコスト削減に貢献しています。ヤマデンでは、±0.03mmの精度でのPEEK加工が可能であり、要求される高精度部品に対応します。

【詳細】
・対象業界：半導体、工作機械
・材質：PEEK（スーパーエンジニアリングプラスチック）
・寸法：φ12×45mm
・ロット対応数：1個～100個
・加工精度：1/100～1/1000mm（±0.03mmまで対応可能）
・加工方法：切削加工（吸着面ラップ仕上げ含む）
・検査体制：三次元測定による全数確認

【特徴】
1. PEEK素材による高強度・高耐久の吸着ノズル
2. 吸着面と軸の垂直度、吸着面平面度を厳格に管理
3. 三次元測定により品質保証、合格品のみ出荷
4. 吸着面はラップ仕上げで精密性と信頼性を確保
5. 従来品に比べ耐久性を大幅に向上

【使用例】
・半導体ICワーク搬送用吸着パッド
・精密搬送装置の吸着ノズル
・耐摩耗性と高精度が求められる樹脂製治具
・工作機械や自動搬送装置の吸着部品

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株式会社ヤマデンは、スーパーエンプラをはじめとする樹脂加工の豊富な実績を持ち、高精度なPEEK加工に対応しています。吸着ノズルのように寸法精度と耐久性が重要な部品に対しても、±0.03mmの精度を実現し、三次元測定で品質を保証。試作から小ロット生産まで柔軟に対応し、お客様の装置性能向上とコスト削減に貢献します。PEEK製吸着ノズル加工は、ぜひヤマデンにご相談ください。

【お問合せ先】
株式会社ヤマデン
〒192-0375 東京都八王子市鑓水2丁目174-3
TEL：042-682-2811
ホームページ：https://yamaden-ltd.co.jp/