株式会社ヤマデンでは、ポリプロピレン（PP）を使用した半導体製造装置向けの精密切削加工に対応しています。ポリプロピレンは、耐薬品性に優れ、薬液を扱う環境でも安定した性能を発揮する樹脂材料であり、半導体製造装置や食品関連装置などで幅広く使用されています。

本製品は、半導体製造工程の中でもエッチング装置に使用される部材で、寸法はt15×60×100mmです。一般的には加工精度を出しにくいとされるポリプロピレン材において、公差5/1000まで対応しています。加工にはマシニングセンターを使用し、R形状部分はボールエンドミルで丁寧に切削しました。面粗度を高めるため、送りを0.1mmピッチで設定し、安定した仕上がりを実現しています。

ポリプロピレンは柔らかく、加工時の歪みや寸法変化が起きやすい材料ですが、ヤマデンではこれまでの加工実績を蓄積し、材料特性を踏まえた加工条件を確立しています。その結果、寸法交差を5/1000まで抑える高精度加工が可能となりました。半導体装置部品として求められる再現性と信頼性を確保した加工を行っています。

【詳細】
・対象業界：半導体
・材質：ポリプロピレン（PP）
・寸法：t15×60×100mm
・加工方法：マシニングセンター切削加工
・加工内容：R形状加工（ボールエンドミル）、高面粗度仕上げ
・対応公差：5/1000
・ロット対応数：1～100個

【特徴】
・ ポリプロピレン材で5/1000公差に対応
・ 耐薬品性が求められる半導体装置部品に適応
・ 面粗度を重視した高品質仕上げ
・ 加工実績に基づく安定した寸法管理
・ 小ロットから柔軟に対応可能

【使用例】
・ 半導体製造装置のエッチング装置用部材
・ 薬液を扱う装置内部の樹脂構造部品
・ 食品・半導体製造ライン向け耐薬品部品
・ 高精度が求められる樹脂プレート部品

【PR】
株式会社ヤマデンは、プラスチック・金属の切削加工から成形加工、電子機器の組立まで幅広く対応するものづくり企業です。ポリプロピレンのような加工が難しいとされる樹脂材料においても、加工ノウハウの蓄積により高精度な切削加工を実現しています。半導体製造装置向けの精密樹脂部品でお困りの際は、ぜひヤマデンにご相談ください。

【お問合せ先】
株式会社ヤマデン
〒192-0375 東京都八王子市鑓水2丁目174-3
TEL：042-682-2811
ホームページ：https://yamaden-ltd.co.jp/