最終更新日: 2026-03-19
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産業用機械
PHT
クリーンルームで使用する水平多関節型のロボットです。 前後 (X軸) ・旋回 (θ軸) ・上下 (Z軸) +ハンド回転 (0~180°) の動作が可能でウエハの大気中搬送に対応致します。 駆動モータは、ACサーボモータで全軸アブソリュートエンコーダ仕様です。
日本 東京都 北区
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