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PHT　株式会社

最終更新日: 2026-03-19

ウェーハ自動剥離装置（剥離洗浄機）

産業用機械

PHT

PHTは半導体業界の中でウェーハ自動剥離装置（剥離洗浄機）のニッチトップ企業として世界に活躍いたします。
ワイヤーソー（スライス）後のウェーハをプレート治具（ビーム）から剥離し、枚葉洗浄を経てウェーハのカセット収納までの全自動システム。