半導体
工作機械
ロボット
次世代のシリコンウェーハは、直径が従来の300mmから450mmと1.5倍に大型化され、130gほどであった自重が450g~700gと非常に重くなり、タワミも生ずる。このため、従来の搬送ロボットでは正確なハンドリングが出来ないという課題が生じていた。本装置は、この課題を解決し、大型シリコンウェーハの高速・高精度な搬送を可能とするものである。
| 会社名 |
PHT 株式会社 (ふぃっと) |
エミダス会員番号 | 104358 |
|---|---|---|---|
| 国 | 日本 | 住所 |
日本 東京都 北区 |
| 電話番号 | 03-6751-7153 | FAX番号 | 03-6761-8935 |
| 資本金 | 6,500 万円 | 年間売上高 | |
| 社員数 | 182人 | 担当者 | 齋藤 悠希 |
| 産業分類 | 産業用機械 | ||
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PHT 株式会社
