フレキシブル基板（フィルム、薄ガラス）上に薄膜の金属膜、樹脂膜（レジスト）のパターンを形成致します。
通常のガラス基板同様に、単層は勿論、積層（例：ITO/MAM/樹脂）も設計通りにパターニングさせていただきます。

・実績フレキシブル基材
下記は、一般的な取り扱い例となります。特殊な開発フレキシブル基材上へのパターニングも可能です。
PEN
PET
PI
PC
PES
COP
薄ガラス

・対応サイズ、実績加工膜
ワークサイズ(mm) 板厚(mm) 　マスクサイズ ライン&スペース
100×100 (□4インチ) 　～0.1mm □7inch 2～3μm
150×150 (□6インチ)
200×200 (□8インチ) 　　　　　　　　　　　□9inch
φ150 (φ6インチ) 　　　　　　　　　　　□7inch
φ200 (φ8インチ) 　　　　　　　　　　　□9inch

上記以外のサイズでも、パターニング対応が可能です。
詳しくはお問い合わせフォームまでご連絡ください。
例：φ300㎜(φ12inch) , □300㎜（□12inch）, 130×110㎜ etc..
異形サイズも対応可能です。

・金属膜(フォトリソ＋エッチング)
アルミニウム,アルミニウム合金(Al,Al-nd)
透明伝導膜(P-ITO,a-ITO,IZO,Zno)
クロム(Cr,CrO)
チタン(Ti)
モリブ系(Mo,MAM,MoNb)
金(Au)
銀(Ag,APC)
銅(Cu,CuO)
ニッケル(Ni)
タングステン(W)
チタン酸バリウム(BaTiO)

・樹脂膜(フォトリソ)
ノボラック樹脂(Novolac)
アクリル樹脂(Acrylic)
ポリイミド樹脂(Polyimide)
ドライフィルム(DFR)
カラーフィルター(CF)
撥水性バンク(Bank)
シロキサン(Si-O-Si)
ネガレジスト・ポジレジストともにパターニング可能です。