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リフトオフ
ウエットエッチングを用いたプロセスでは配線形成が困難な金属(Pt、Ta等)やウエットエッチングは可能だが、膜構成によっては下層へのダメージが懸念される場合(ITO上のSiO2等)に用います。
・対応金属膜:Pt、Ta、SiO2、SiNなど
・最小L/S=10/10μm
・配線高さ=~2μm
・対応基板サイズ
~200×200mm
~Φ200mm
会社名 |
株式会社厚木ミクロ (あつぎみくろ) |
エミダス会員番号 | 102588 |
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国 | 日本 | 住所 |
日本 神奈川県 厚木市 |
電話番号 | 046-248-7007 | FAX番号 | 046-248-7005 |
資本金 | 5,000 万円 | 年間売上高 | |
社員数 | 50人 | 担当者 | 営業担当 |
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