株式会社厚木ミクロ
最終更新日: 2025-03-01
私たち厚木ミクロは、「世の中にまだないものをつくる」開発者集団です。
PRコメント
私たち厚木ミクロは、「世の中にまだないものをつくる」開発者集団です。1987年の設立以来、フォトリソグラフィーとエッチングという基礎技術による薄膜エッチングで、液晶ディスプレイ、プラズマパネル、電子ペーパー、スマートフォン、有機EL……時代を代表する画期的な製品の開発に、技術パートナーとして参画してきました。どんなことでもまずはご相談を！試作・量産お気軽にお問い合わせください。
厚木ミクロは、まだ世の中にないものを作り出したい、そんな最先端のお客様のアイデアを実現するために全社で尽力します。
お客様で開発されている、樹脂膜（レジスト）のベタ塗布～パターニングテスト、
同様に開発中の金属膜に対して薬液耐久テスト～パターニングテストを行うことが可能です。
またそれら開発品は、テストのみならず、量産まで対応することが可能ですので、試作～量産までお気軽にお問合せください。
フレキシブル基板（フィルム、薄ガラス）上に薄膜の金属膜、樹脂膜（レジスト）のパターンを形成致します。
通常のガラス基板同様に、単層は勿論、積層（例：ITO/MAM/樹脂）も設計通りにパターニングさせていただきます。
・実績フレキシブル基材
下記は、一般的な取り扱い例となります。特殊な開発フレキシブル基材上へのパターニングも可能です。
PEN
PET
PI
PC
PES
COP
薄ガラス
・対応サイズ、実績加工膜
ワークサイズ(mm) 板厚(mm) マスクサイズ ライン&スペース
100×100 (□4インチ) ～0.1mm □7inch 2～3μm
150×150 (□6インチ)
200×200 (□8インチ) □9inch
φ150 (φ6インチ) □7inch
φ200 (φ8インチ) □9inch
上記以外のサイズでも、パターニング対応が可能です。
詳しくはお問い合わせフォームまでご連絡ください。
例：φ300㎜(φ12inch) , □300㎜（□12inch）, 130×110㎜ etc..
異形サイズも対応可能です。
・金属膜(フォトリソ＋エッチング)
アルミニウム,アルミニウム合金(Al,Al-nd)
透明伝導膜(P-ITO,a-ITO,IZO,Zno)
クロム(Cr,CrO)
チタン(Ti)
モリブ系(Mo,MAM,MoNb)
金(Au)
銀(Ag,APC)
銅(Cu,CuO)
ニッケル(Ni)
タングステン(W)
チタン酸バリウム(BaTiO)
・樹脂膜(フォトリソ)
ノボラック樹脂(Novolac)
アクリル樹脂(Acrylic)
ポリイミド樹脂(Polyimide)
ドライフィルム(DFR)
カラーフィルター(CF)
撥水性バンク(Bank)
シロキサン(Si-O-Si)
ネガレジスト・ポジレジストともにパターニング可能です。
当社では、OLED関係のお客様と多く取引をさせていただいております。
薄膜金属膜・樹脂膜（レジスト）パターン加工・CF（カラーフィルター）パターンはもちろんですが、それ加工に加え、少しでもお客様のご要望に応えられるように、エッジカバー層の省略化を目的としたテーパーエッジコントロール。
ITOの表面加工・ITO研磨加工を承っております。
ITOテーパーエッジコントロール
P-ITO a-ITO
MoNb/AlNd/MoNb テーパー形状
ITO表面加工・ITO研磨加工
詳細はホームページをご覧ください。
厚木ミクロの技術は半導体技術を用いなくとも微細なラインを形成することを可能にしました。
そのため1枚あたりのコストを最大限まで抑えたいという要望、研究段階で、まずは少量で試作からという様々なご要望に応えることができます。
ガラス上、カラーフィルター（CF）5層構造パターン
blackレジスト/REDレジスト/greenレジスト/Blueレジスト/OC(アクリル系レジスト)
様々な基材に対して、【 ガラス：無アルカリガラス・ソーダライムガラス・石英ガラス・サファイアガラス）フィルム：PEN・PET・PI , Siウエハー】薄膜の金属膜、樹脂膜（レジスト）のパターンを形成致します。
配線（パターン）は単層は勿論、積層（例：ITO/MAM/PI）も設計通りにパターニングさせていただきます。
対応サイズ,実績加工膜
ワークサイズ(mm) 板厚(mm) マスクサイズ ライン&スペース
100×100 (□4インチ) 0.2~6 □7inch 2～3μm
150×150 (□6インチ)
200×200 (□8インチ) □9inch
φ150 (φ6インチ) □7inch
φ200 (φ8インチ) □9inch
上記以外のサイズでも、パターニング対応が可能です。
詳しくはお問い合わせフォームまでご連絡ください。
例：φ300㎜(φ12inch) , □300㎜（□12inch）, 130×110㎜ etc..
異形サイズも対応可能です。
他にもお客様の開発品(樹脂・金属膜問わず)を多くパターニングしておりますので、是非にお問い合わせください。
様々な基材に対して、【 ガラス：無アルカリガラス・ソーダライムガラス・石英ガラス・サファイアガラス）フィルム：PEN・PET・PI , Siウエハー】薄膜の金属膜、樹脂膜（レジスト）のパターンを形成致します。
配線（パターン）は単層は勿論、積層（例：ITO/MAM/PI）も設計通りにパターニングさせていただきます。
対応サイズ,実績加工膜
ワークサイズ(mm) 板厚(mm) マスクサイズ ライン&スペース
100×100 (□4インチ) 0.2~6 □7inch 2～3μm
150×150 (□6インチ)
200×200 (□8インチ) □9inch
φ150 (φ6インチ) □7inch
φ200 (φ8インチ) □9inch
上記以外のサイズでも、パターニング対応が可能です。
詳しくはお問い合わせフォームまでご連絡ください。
例：φ300㎜(φ12inch) , □300㎜（□12inch）, 130×110㎜ etc..
異形サイズも対応可能です。
他にもお客様の開発品(樹脂・金属膜問わず)を多くパターニングしておりますので、是非にお問い合わせください。
フィルム上、Cuメッシュパターン
Cu配線：3μm
様々な基材に対して、【 ガラス：無アルカリガラス・ソーダライムガラス・石英ガラス・サファイアガラス）フィルム：PEN・PET・PI , Siウエハー】薄膜の金属膜、樹脂膜（レジスト）のパターンを形成致します。
配線（パターン）は単層は勿論、積層（例：ITO/MAM/PI）も設計通りにパターニングさせていただきます。
対応サイズ,実績加工膜
ワークサイズ(mm) 板厚(mm) マスクサイズ ライン&スペース
100×100 (□4インチ) 0.2~6 □7inch 2～3μm
150×150 (□6インチ)
200×200 (□8インチ) □9inch
φ150 (φ6インチ) □7inch
φ200 (φ8インチ) □9inch
上記以外のサイズでも、パターニング対応が可能です。
詳しくはお問い合わせフォームまでご連絡ください。
例：φ300㎜(φ12inch) , □300㎜（□12inch）, 130×110㎜ etc..
異形サイズも対応可能です。
他にもお客様の開発品(樹脂・金属膜問わず)を多くパターニングしておりますので、是非にお問い合わせください。
CF（カラーフィルター）パターニングする基材は、ガラス類～フィルム類まで対応可能です。
CF（カラーフィルター）形成後の金属膜形成も弊社で対応できますので、一貫した基板作製を弊社に行うことができます。
数量は、試作～量産まで対応可能ですので、お気軽にお問い合わせください。
 |
エッチング（表面処理）（ 表面処理 / その他表面処理 ） |
|---|
| 会社名 |
株式会社厚木ミクロ (あつぎみくろ) |
自社ホームページURL | https://www.at-micro.co.jp/ |
|---|---|---|---|
| 住所 |
日本 神奈川県 厚木市
[地図を見る] |
担当者 | 営業担当 |
| 電話番号 | 046-248-7007 | FAX番号 | 046-248-7005 |
| 資本金 | 5,000 万円 | 社員数 | 50人 |
| 年間売上高 | 未登録 | エミダス会員番号 | 102588 |
| 主要三品目 |
|
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| 大分類 | 中分類 | 小分類 |
|---|---|---|
| 設計 | 電気設計 | その他電子機器部品設計 電子回路設計（電子） |
| 試作開発・少量生産 | 試作品加工 | 小物試作品製造 |
| 量産 | ガラス・シリコン | 光学薄膜製品 ガラス基板 |
| 表面処理 | その他表面処理 | エッチング（表面処理） |
| 部品製造 | 電気基板・電子部品 | 電子機器の組立・配線 フレキシブル基板製作 フレキシブル基板 部品実装 多層基板 短納期対応 |
| 自動車部品製造 | 内装品 | オーディオ部品 |
| 製品製造 | 医療機器製造 | 医療機器製造 |
