半導体
生産設備
『ヤギマイト加工』とは、アルマイト皮膜の最表面に厚さ1μm程の新たな層を形成することで超耐食性を確保する、弊社の特許技術です。
耐アルカリ性に優れており、従来の約5倍の耐食性を持ちます。
またエッチング深さは、従来品より加速電圧1.5KVの場合10.6%減少しており、
さらに2.0KVの場合12.0%、2.5KVの場合21.2%減少していた。このことから
ヤギマイトは従来品よりも耐プラズマ性に優れています。
また、半導体製造装置への表面処理において、ヤギマイトは塩素系ガスを使用するエッチング装置のチャンバーに使用されます。
ヤギマイトは耐久性を向上させるので、コストの削減、内部の腐食を軽減、パーティクル発生の抑制に威力を発揮します。
会社名 |
中国電化工業 株式会社 (ちゅうごくでんかこうぎょう) |
エミダス会員番号 | 100187 |
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国 | 日本 | 住所 |
日本 山口県 防府市 |
電話番号 | 0835-22-2810 | FAX番号 | 0835-23-2971 |
資本金 | 2,580 万円 | 年間売上高 | |
社員数 | 19人 | 担当者 | 東 幸緒 |
産業分類 | 産業用機械 |
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