アルマイト超耐熱性皮膜の「クニマイト」 【特許申請中】
クニマイトの特長は、高温に強い皮膜で、50μmの膜厚を500℃で3時間加熱
しても表面にクラックが発生しない皮膜であることです。
また、500℃以上の高温に加熱しても皮膜にクラックが発生しないため、
高温になる部品にも使用することが可能です。
さらに半導体製造装置へのク二マイト加工において、クニマイトはパーティクル量の削減に効果を発揮します。
半導体製造装置は通常腐食系ガスを使用しているので、プラズマからの熱影響でクラックが発生し、そこから腐食が進行することにより、パーティクルが発生します。
クニマイトは熱によるクラックの発生がないため、プラズマエッチング装置内で長時間使用してもパーティクルは発生しません。