アルマイト 高耐食性皮膜の 「ヤギマイト」
『ヤギマイト加工』とは、アルマイト皮膜の最表面に厚さ1μm程の新たな層を形成することで超耐食性を確保する、弊社の特許技術です。
耐アルカリ性に優れており、従来の約5倍の耐食性を持ちます。
またエッチング深さは、従来品より加速電圧1.5KVの場合10.6%減少しており、
さらに2.0KVの場合12.0%、2.5KVの場合21.2%減少していた。このことから
ヤギマイトは従来品よりも耐プラズマ性に優れています。
また、半導体製造装置への表面処理において、ヤギマイトは塩素系ガスを使用するエッチング装置のチャンバーに使用されます。
ヤギマイトは耐久性を向上させるので、コストの削減、内部の腐食を軽減、パーティクル発生の抑制に威力を発揮します。