フッ素ゴム FKM | 半導体製造 | ボンデッドゲートシール | 成型・マシニング加工

【材質】
　・ステンレス（SUS316／SUS304）＋高機能フッ素ゴム（FKM）

　・アルミ合金（A5052／A6061）＋高機能フッ素ゴム（FKM）

【用途・業界】
　半導体製造装置の真空チャンバー開閉扉に使用されるボンデッドゲートシール。
　耐久性向上・寿命延長を実現し、メンテナンス性を改善します。

【サイズ】
　・200mmタイプ

　・300mmタイプ


【加工方法】
　・マシニング加工
　・プレス成型
　・表面処理（要求仕様に応じて選定）

【特徴】
　本製品は半導体プロセスにおける真空チャンバーの性能を
　向上させ、寿命を延ばすことが可能です。

主な特長：
　◆ 部品交換が容易
　◆ ゴム配合の自由設計が可能
　◆ シール部デザインのカスタマイズ対応

　弊社では、ゴム配合開発から金型設計・製作・検査・洗浄・出荷まで
　一貫生産体制を整えており、納期・コスト面でも柔軟に対応可能です。

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