【アルミヒートプレート　高精度　平行度0.05　半導体製造装置のアルミ精密部品】

【材質】アルミのA5052（a5052）

【業界・使用用途】
半導体製造装置業界
半導体製造装置のアルミ精密部品

【材寸】厚さ10mm×幅250mm×長さ250mm

【加工方法】マシニングセンタ

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こちらの製品は、半導体製造装置業界で使用されているヒートプレートです。
一見加工は簡単そうに見えますが、幅250mm±0.05、
表面と裏面には平行度0.05の厳しい公差が入っています。
また、左右には3mmの段落ちがあります。

そして、注目して頂きたいところは表面に入っている溝です。
幅1mm、深さ1.5mmの溝となっており、
こちらの溝はマシニングセンタで加工を行いました。

このような溝はレーザ機を用いて加工することもできますが
マシニングセンタで加工を行うことにより、
位置精度もバッチリだすことができる上に、
工程を極限まで減らしてコストメリットを出すこともできています！

アルミのヒートプレートは、ぜひ中田製作所にお問合せ下さい。
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